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El hexametildisilano (HMDS) es un reactivo estable y eficaz para la trimetilsililación de sustratos lábiles al hidrógeno, como alcoholes, aminas y ácidos carboxílicos. Se utiliza comúnmente para la protección de grupos funcionales sensibles durante la síntesis química. Gracias a su bajo coste, alta presión de vapor y seguridad, se utiliza ampliamente como precursor en reacciones de deposición química en fase de vapor (CVD).
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